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    3. 產品概述:

      SOI 高溫壓力傳感器芯片采 用硅壓阻原理實現絕壓及表 壓參數測量。敏感電阻做在絕 緣層上,通過絕緣層實現電阻 間的電氣隔離,解決 pn 結隔 離壓力傳感器工作溫度高于 125℃時的失效問題。SOI 高 溫壓力傳感器相較傳統壓阻 式壓力傳感器不易受光、電 磁和 ESD 干擾,具有更高的 穩定性和可靠性。SOI 高溫壓 力傳感器可應用于石油化工、汽車等 高溫環境下的壓力測量領域。

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